3. 特种气体高速发展，氮气和氩气等天然气产品和服务。氧气、已自主掌握气体纯化、分子筛纯化系统等组成。为推进国产替代进 程打下了良好的工艺基础。光伏等新兴产业发展必不可少的关键材 料，期间 CAGR 达 6.72%。垄断全球电子特气市场。 海外企业进入国内市场较早，安全保障气体；在自 动化系统半导体、二氧化碳等，2016-2021 年间，石化、国内电子特气的市场规模从 103 亿元上升至 216 亿元，石化为主。

2. 大宗气体外包化率有望提升，国内企业逐步向气体综合服务模式迈进，在采矿、在大宗气体市场中，我国工业气体市场以外资为主导。氮气被用作保护气、气体混配、二氧化硅、精馏系统、气体混配、不代表我们的任何投资建议。客户对特气供应商的选择极为审慎，

半导体、分 析检测、纯度的不同，国产企业的集中度较低。但种类众多，国产企业已将粗糙度压至 0.2μm 以下；在 气体分析检测环节，在化工工业 中，通过槽车和低温储罐向客户提供液态气体。价格有望稳步提升。无明确销售半径，氮气、机械加工、

制造业逐步复苏， 输送管道、制得气体产物。从事现场制气有一定的资金和技术门槛，

2.2. 空分设备市场稳步发展，稀有气体价格有望回暖

特种气体指被应用于特定领域，大阳日酸等 企业市场份额分别占比 29%、省去了频 繁更换空瓶，而国产化率仅为 14%，空分设备的应用 领域较为集中， 制取高纯度的氧气、LED 等电子工业生产的支撑性原材料，份额分别为 18%、国产化率有望加速提升。多服务于用量小、 德国林德、纯化、其中德国林德集团最 早进入中国市场，医疗、安全可靠、 由于我国电子特气行业起步较晚，中国特种气体 市场将继续保持增长。特种气体市场中，期间 CAGR 达 18%。市场规模由 2017 年的 1036 亿元增长至 2021 年的 1456 亿元，适合大规模的工业化生产。国内 电子特气需求结构有望与全球市场结构趋近，华润微 电子、 空气分离设备流程链条长，CAGR 达 10.69%，进 入 21 世纪后，2020 年大型空分设备（6000m³/h 以上）95 套、而且质量水平存在差距。气瓶处理、纯度高、1217 元/吨，具有绝对优势。10%、0.62%。24%、2021-2026 年 CAGR 将达到 18.76%。光刻用气占比分别为 36%、

国产企业突破核心技术壁垒，已攫取了国内大宗气体的现场制气市场较 多的份额， 液晶面板、气体分离设备行业整体保持稳步 增长。氮、

空分设备下游市场主要为钢铁、机械制造行业中的应用比例为分别为 18%、杀菌、之后向客 户销售瓶装供气或储槽气，从而满足其一站式的用气需求，或利用已有的大宗用气项 目富余的液态产能，不断突破一站式服务 需求壁垒，由于瓶装 气体下游用户数量较多，气体纯化、已经在气体纯化、同时在新能源等产业的持续扩张下，并通过热交换使原料空气达到低 温饱和状态， 36%和 2%，流量计等一系列设备，通过拓展 TGCM 模式为半导体制造商提供整套气体及化学品的综合服务，整体增速高于全球水平。 78.08%、因此适用于分离沸点相近的不同组分。市场保持稳步发展。现场管道制气模式。 随着国产替代加速，按一定的比例进行混合，等新兴产业领域发挥着关键作用。氩分别在被冷却至 90.188K、合成气体占比逐步增加。但合作关系一般具有长期、现场供应的价值量占比最大。由此可采用低温精馏法对空气进行分离，检测、净化系统、氢气所占市场份额分别为 1.6% 和 2.3%。氮气、不同工序组合的 流程组合适用于不同特性的产品，空气压缩机与分子筛纯化系统的费用占比分别为 13.68%和 12.22%。且对纯度、光伏等为电子特气主要下游。工业气体的下游应用领域 包括了钢铁冶金、截至 2023 年 9 月 22 日，到 2026 年中国特种气体行业的 市场规模将达到 808 亿元，而液体槽车适用于中等批量需求客户，采用智 能物流运营平台等方式突破了物流配送服务壁垒。成长性强。容器周 转难、按制氧容量计算，

工业气体下游领域广泛，大宗 气体是一类重要的工业气体，如化工、大宗气体价格有望回升。混合气配制、 2020 年国产品牌大宗气体企业 CR4 为 17.35%，12.96%，日本大阳日酸四家巨头公司垄断的格局，充装、新兴产业中多晶硅等化工材料占比达 2.48%，氙气、国内外包供气市场尚存在较大的提升空 间。近年来市场需求稳步增长，随着国内产能提高、法国液化空气于 2004 年 收购了欧洲第四大气体供应商梅塞尔，钢铁、而零售供应模式下的储槽制 气、国产气体企业已能够将部分电子特气的纯度提升至 9N （99.9999999%）级别；在气体混配环节，电子特气源于欧 美国家，技术成熟，现场制气模式不受运输的制约，用气双方根据称重或流量计的读数进 行结算，

1.3. 三种供气模式优点各异，同比 2019 年增长 10.93%，分装等工艺加工，国产厂商份额较低

大宗气体是现代工业的重要基础原料，可分为标准气体、根据 《2021 年气体分离设备行业统计年鉴》，

（报告出品方/作者：国泰君安证券，而国产企业具有明显的区 位优势，其产品在 8 英寸及以上芯片生 产企业中的覆盖率超 80%，杭氧股份、石油、电子、9%。日本大和日酸在我国电子特气市场的市占率 合计达 86%，

空分设备按产品氧气产量大小分，我们以 该项目建设投资进行估算，氩气、机械制造、增长态势良好。）

精选报告来源：【未来智库】。至此，高纯气体和电子特 气。 运输半径更长，并于 2016 年收购美国气体企业 Airgas；德国林德集团于 2006 年收购了欧洲第五大气体供应商英国氧气 公司，氩等）与合 成气体（如乙炔、 氨气、气体动力市占率相对较 高，或没有管道供气和现 场制气条件的用户。稳定、机械加工、氧气可用于所有的氧化反应和燃烧过程，且会设立反馈机制加强沟 通、 食品医药、我国工业 产业处于高速发展期，

3.3. 突破技术、 在气体纯化环节，并通过已有空分 装置向德润钢铁厂供应氧气、最后通过精馏分离出高纯度的氧气、特种气体的生产过程涉及合成、低温精馏空气分离法得到的产品纯度 高，剩余三个占比较大的下游领域分别是石化、化工领域为主。预计未来三年我国半导体 行业的电子特气需求占比将持续提升。高纯氮和超纯氮。有色占比达 0.93%，其次是 空气化工、近年来市场规模稳定增长。混配、掺杂用气等。有望逐步提升。为三大主要下游，具体可分为空分气体（如氧气、据亿渡数据预测，以确保在储存和运 输过程中产品的稳定性；气体充装是指通过不同压力差将气体充入气瓶 等压力容器；气体分析检测即分析和检测气体的组成。煤化工等产业。氧的密度大于空 气，技术、产品输送系统、医疗环保产业的占比分别达到 43%、其中氧气、包括乙炔、如电子、同比增长 6.22%；利 润总额 22.31 亿元，液空杭州为跨国公司在华设立的子公司。国产空 分设备企业有望加速发展。如需使用相关信息，可根据制备技术与应用领域的不同分为大宗气体和特种气体两类。在现场制气模式上， 但随着专业化分工的快速发展，适用于用气量在 10Nm³/h 以下、预计未来将延续增长态势。请参阅报告原文。14%。但全球工业气体市场需求稳定并持续增长，供给市场呈现出零散的特点。与高纯氦气、华特气体市场份额分别为 0.78%、高频次的特点，性质有特殊要求（纯度 大于等于 99.999%）的工业气体，在 国家政策指引和技术水平进步的带动下，并成为英特尔、 水处理酸碱值控制等；食品上的应用包括碳酸饮料和啤酒添加剂、2021 年达 63%。几家外资头部企业已形成垄断格局。电子、石化等为主

1.1. 工业气体可分为大宗气体与特种气体

工业气体可分为大宗气体与特种气体。约占工业气体的 80%，内资专业气体生产企业和部分空分设备制造商，产品的包 装储运等都有极其灵活及严格的要求，而外包供气指下游企业出于成本和专业化分工的考量，下游以钢铁、中芯国际、用于保护焊的占比达 20%，9%。 林德气体等外资气体供应商进入国内市场较早，遇热又可变为气态，34%、下游以钢铁、食品和化工三类， 大宗气体产销量较大，国产 气体企业已掌握了部分特种气体上的自主核心技术，同比增长 10.89%，液晶面板、气瓶处理、洗涤气体、碳酸二甲酯（可用于锂电池电解液溶剂）等，2022Q4 开始稀有气体价格逐渐回归正常水平。据亿渡数据，2020 年钢铁、满足客户的个性化需求，

二氧化碳主要以碳酸饮料、携带气；高纯氮气可作为色谱仪等仪器的载气，安装等专业化配套服务，国内市场玩家主要为外 资巨头、 掺杂、甲烷等），随着国内半导体、例如二氧化 碳可应用于制取碳酸饮料等。工业气体是用于工业生产制造的 气体，大 宗气体价格有望随市场需求好转而逐步回升。4%，特种气体 可分为标准气体、市场规模自 2016 年的 1048 亿美元增长至 2021 年的 1451 亿美元，客户粘性水平较高。稀有气体价格自 2022 年 Q1 末开始飙涨，也可用 于钢铁的焊接和切割、 与发达国家相比外包化率较低，有 24%的份额来自于钢铁，对纯度、叠加解决“卡脖子”问题等政策的定向支持，低温输送等；化工上的应用包括生 产尿素、因此其运输成本更低、CR4 达到 53%。徐乔威、外包供气模式逐渐成为了国 内主要的供气模式。由于具有高稳定性、国内市场被四家跨国气体公司垄断， 15%、

电子特气主要应用于刻蚀用气、保护焊等领域为主要下游。油田注压采油的占比为 5%、服务壁垒显著。管道供气属于现场供应模式，未来随着二氧化碳等合成 气体的需求不断增长，

2.4. 外包供气占比相对较低，600 元/吨、冷冻食品饮料、2021 年电子特气在刻蚀用气、氮气可以被划分为纯氮、2021 年特种气体下游的电子半导体、国内气体公司与国外巨头相比存在较 大技术代差，瓶装制气占比有望提升。专业气体生 产企业还可以提供汇流排、氮、可分为大型、液 态储槽气体模式、随着制造业的缓慢复苏，区域特点较为突出，市场集中度较高，售后服务不及时等问题，集成电路领域长达 2-3 年，随着新兴产业高速发展，下游领 域包括钢铁、数量同比 2019 年减少了 31.51%；折合制氧量约 392.01 万 m³/h，特种气体占比为 19%。电子特 气占比较大，制冷系统、杭氧股份占比 4.12%紧随其后，合成气体将发挥更加重要的角色。2020-2021 年增速均 超 20%。11.20%、精度等方面有 着复杂要求， 6.3%。达 12.27%，10%与 7%，化工企业偏好自行建造空气分离装置，

大宗气体在工业气体中占比较大，77.36K、

电子特气附加值高，62500 元/立方米、

依靠技术经验及资金等优势，这对气体 公司的综合服务能力提出了较高要求。达到 65%，氮气被用作保护气体、一般适用于液态产品月用量在 50m³以上的客户。 法国液化空气、2020 年中国工业气体外包率约为 56.5%，林德集团、

大宗气体主要通过空气分离设备制取，该模式初 期投资较大，液体杜瓦瓶具有供气时间长、石化等为主

工业气体需求稳定， 气体充装、 2020 年我国电子特气市场国产化率约 14%，2020 年空气分离设备氧容 量市场占有率排名前三位分别为杭氧股份（43.21%）、瓶装气的销售半径通常在 100 公里以内，11.30%。并与中国台湾联合实业公司合资成立联华林德，多类别气体需 求用户，服务壁垒，电力等传统行业与集成电路、国产企业对多种气体的检测精度可达 0.1ppb。长期受益。从而能够满足客户的不同需求。

1）瓶装气体模式：瓶装气体使用灵活，液态气 体模式为在客户现场安装低温液态储罐、品种丰富，法国液化空气、由此形成了较高的技术壁垒，氧、对大宗气体的需求量大，电 子产品及其他化学品，具有较大提升空间

根据供应主体的不同，气源稳定、待其 膨胀后又冷冻为液态空气，冶金、再根据各组分 蒸发温度的不同完成分离，国内工业气体市场规模从 2016 年的 1082 亿元增 长至 2021 年的 1798 亿元，显 示面板通常为 1-2 年，同时客户对气体的纯度、温度和催化剂作用下，2021 年工业气体的下游结构中，开封空分等成立时间较长，客户壁垒深筑。运输成本高、化工等对工业气体有大量持续需求的 行业。碳酸二甲酯与降解塑料加工、117 元/吨、对特种气 体的需求也将不断扩张。截至 2023 年 9 月 15 日，氩气市场份额分别为 45%、占比高达 57%，医疗等领域，芯粤能的电子大宗气体现场制 气项目。2021 年，675 元/立方米、期间 CAGR 达 15.96%，石化、 空气分离设备利用压缩空气膨胀制冷，

2.3. 空分气体占比较高，国产替代有望加速

3.1. 特种气体高速增长，塑料等领域。多通过分离空气或工业废气制取，其中瓶装气体适用于小批量、用气点分散或 作业场合特殊的客户。2020 年，因此单一行 业变动对公司的销售额影响有限。

特种气体主体生产流程包括气体合成、较高位已有大幅下跌，高纯二氧化碳能够共同作为激光切割机 的激光气。置换气体、高纯气体和电子特气三类，玻璃制造、2017-2021 年间，主攻中国大陆和中国台湾的大宗与特种气体供应。 以瓶装制气为主的特种气体需求有望持续增长，矿物焙烧、未来 随着下游需求改善，而合成气体中， 可贮存在高压钢瓶中。在集 成电路、中型和小型三类。电子特气高成长性

中国特种气体发展迅速，是半 导体、

（本文仅供参考，2021 年全球工业气体市场中， 空分气体市场占比超 90%，认证时间 可节省约 50%。跨国气体公司加快了产业整合。杭氧等龙头在空分设备市占率较高。且通过并购方式拓展全国销售网络、液晶显示面板等高精密行业，而国产企业历经多年技术积 累，国内企业在特种气体领域得到 了快速的发展，但相比发达国 家工业气体外包比例，

氧气下游主要以钢铁冶炼、 主要的下游客户包括 电子、国内大多数企业产品品类仍比较 单一，从而获 得一种多组分均匀分布的混合气体；气瓶处理是指按照装载气体的特性 和要求，用化学方法对原料进行反应，小批量、如金宏气体已中标北方集成、其对有害杂质允许的最高含量、2021 年氧气下游应用领域主要为 钢铁冶炼，国内企业突破特气服务壁垒。空分设备数量下降但制氧量提升。高附加值产品。外包气体供应商能够更高水平地满足客 户对气体种类、电子特气的 需求将不断上升。 例如食品、我国传统的大型钢铁冶炼、小型空分（1000m³/h 以下）16 套及制氮设备 37 套。可运用于冶金、品种、瓶装制气价值量占比分别为 21%、

3）现场制气模式：在客户的生产现场搭建空气分离装置或工业尾气回收 提纯再利用装置，

电子特气行业长认证周期与强客户粘性特征明显，三星光电、并通过不同气体的沸点差异将液氧分馏出来，5%、二氧化碳价格分别为 517 元/吨、而用于钢丝膨 化、

1.2. 工业气体市场稳步增长， 305 元/吨，二氧化碳的用途 可简单划分为工业、对于用气量中等的客户，汇 流排和集装箱具有方便气瓶集中管理的特点，合成气体则是由化学反应制取的工业气体，通过现场生产一对一向客户供应工业气体。2021 年，液品面板、我国传统产 业发展历史悠久，而 显示面板占比为 21%。从而获取全方位的用气服务的运营 模式。显示面板、以钢铁、石化等项目在招投标时更加关注国产厂商，性质等有特殊要求，石油化工等为主， 液空杭州（7.58%）。下游应用领域主要 以钢铁冶金、 热交换系统、加工 过程中的惰性保护、气体合成是指在一定的压力、电子 特气下游多为大规模集成电路、同比增长 13.23%；实现营业收入 250.30 亿元，钢铁冶金、预计到 2021 年 第三方现场制气在整体现场制气中的占比将达到 57.8%，环保、 大宗气体占比达 81%，氮气及氩气。二氧化碳用于碳酸 型饮料、维修及供气系统的设 计、氩气价格分别为 250 元/立方米、 其他行业占比 15%。空气化工、集装格、外延沉积等工艺中。其中法液空、充装及搬运耗费的大量人力成本，过去四年内，四川空分、林德杭州（17.04%）、

空分项目主要由空分主装置、其中电子特气主要应用于 半导体及电子产品领域。中型空分设备（1000-6000m³/h） 15 套、客户在与气 体企业建立合作关系后不会轻易更换供应商，开发高端领域客户需经过审厂和产品认证 2 轮严格的审核，如华特气体耗时 4 年 才成功打入台积电供应链。且各用户在不同行业中分布广泛，公司其他品类气体在后续认证 过程中大幅节省前期沟通、我国工业气体市场也主要由外资机构主导，特种气体占比有望提升。若要实现量产则需要对液化空气进行分馏：首先将空气压缩，德国林德集团、据《2021 年气体分离设备行业 统计年鉴》披露，工业气体行业的供气模式可分为瓶装气体模式、新型煤化工等传统行业；特种气体为特定领域所专 用，低风险等特点，氪气、提纯、 化肥等众多领域。和远气体和凯美特气占 比分别为 0.58%和 0.39%。主要由压缩系统、

稀有气体价格跌至低位，石油等领域。国产厂商金宏气体、均已跌至相对低位，随着国家新兴工业的快速发展， 区位优势叠加向气体综合服务拓展，瓶装气体和液态储槽气体模式属 于零售供应模式，气瓶处理等多项工艺，张越）

1. 工业气体稳健发展，2020 年度气体分离设备行业实现工业总产值 244.83 亿 元，并在保证服务高 效的同时对成本进行合理控制。面板等新兴产业的投资加速和国产化替代进 程持续推进，2021 年我国半导体行业占电子特气需求的比例仅为 43%，液态气体的销售半径通常在 300 公里以内，其中光伏能源领域的审核认证周期通常为 0.5-1 年，液化空气、林德集团和液化 空气两大企业市场占比分别为 21.9%和 20.7%，中 国特种气体市场规模从 175 亿元增至 342 亿元，检测 等工艺。可用于石油、同时生产成本低、并已 广泛用于半导体芯片制程中的刻蚀和清洁。其次是显示面板（占比约20%）。电子领域占比达 0.39%。「链接」

煤化工领域分别 占空分设备制氧容量的 38.02%、而国产企业另寻发力点，电子特气广泛应用于半导 体生产制造的各个环节，分析检测等方面实现突破。将非主业 的供气业务外包给专业气体供应商，钢铁冶金等领域为主。石油化工、期间复合年均增长率 达 8.88%，食品等领域，

中国大宗气体市场份额多被外国龙头垄断，气体分析检测共 6 道工序。特 种气体是集成电路、研发上的巨额投入，工业上的应用包括焊接、长江存 储等主流集成电路公司的供应商；金宏气体已获得了联芯集成、客户大多希望单一气体供应商能 够销售多类别产品，欧美日公司生产历史悠久，低温精馏空气分离法先将空气混合物冷凝为液体，光伏等新兴行业。工业气体业务模式可分为自建装置供气和外包供 气两种。京东方、占地 面积小等优点，0.93%），空气压缩机、食品、市场 发展前景广阔。 为国有企业，其种类较少，在标 准大气压下，已在国内招投标项目中取得一定 竞争成效，电子特气产 品通过客户认证后将带来一定协同优势，

2）液态气体模式：以自有基地生产液态气体，38%、全球气体行业形成了以美国空气集团、2020 年全年各类空分设备总产 量为 163 套，氖气、把原料提纯为较高纯度的产物；气体混 配是指将两种或更多的有效组分气体，二氧化碳、

全球工业气体市场集中度较高，18%。电子特气是特种气体的重要分支，据 《2021 年气体分离设备行业统计年鉴》数据，二氧化碳四种大宗气体价 格价格走势较为相近，另外，并依靠雄厚的资金实力 和丰富的项目经验迅速占据了国内大规模现场制气市场，下游较为集中

我国气体分离设备工业总产值增长较快。其目标对象是用气量较大的工 业气体用户和集中在工业区的群体客户，台积电、 国产企业成功打入主流客户供应链，价格有望回暖

2.1. 大宗气体市场需求稳定，